Place of Origin:
Anhui, China
ब्रांड नाम:
Wayeal
प्रमाणन:
CE
Model Number:
SFJ-231D
दस्तावेज:
वेफर लीकेज डिटेक्शन SFJ-231D के लिए ड्राई पंप हीलियम लीक डिटेक्टर
हीलियम लीक डिटेक्टर SFJ-231D के तकनीकी पैरामीटर
| उत्पाद का नाम | हीलियम लीक डिटेक्टर SFJ-231D |
| न्यूनतम पता लगाने योग्य रिसाव दर (Pa·m³/s)/ वैक्यूम मोड | 5.0*10-13 Pa·m3/s |
| न्यूनतम पता लगाने योग्य रिसाव दर (Pa·m³/s)/ स्निफर मोड | 5.0*10-9 Pa·m3/s |
| अधिकतम स्वीकार्य रिसाव का पता लगाने का दबाव (Pa) | 1500 |
| प्रतिक्रिया समय | <1s |
| स्टार्टअप समय | ≤2min |
| पता लगाने योग्य गुणवत्ता | 2, 3,4(H2 ,He3, He4) |
| मैन-मशीन इंटरफ़ेस | 7" रंगीन एलसीडी टच स्क्रीन |
| आयन स्रोत | 2pcs, इरिडियम लेपित येट्रियम ऑक्साइड, स्वचालित स्विचिंग |
| I/O इनपुट/आउटपुट इंटरफ़ेस | 8 इनपुट और 8 आउटपुट |
| संचार इंटरफ़ेस | RS232/485, USB*2 |
| MES इंटरफ़ेस | मानक |
| लीक डिटेक्शन पोर्ट | DN25KF |
| बिजली की आपूर्ति | AC220V, 50Hz/60Hz |
| ऑपरेटिंग तापमान | 0~40°C |
| भाषा | अंग्रेजी |
| रिसाव दर प्रदर्शन | चित्र, बार चार्ट, वक्र चार्ट |
| आयाम | 645*678*965mm |
SFJ-231D हीलियम लीक डिटेक्टर का अनुप्रयोग वेफर के लिए
हीलियम मास स्पेक्ट्रोमेट्री रिसाव का पता लगाने की तकनीक में, ड्राई पंप (तेल मुक्त ड्राई वैक्यूम पंप) का अनुप्रयोग मुख्य रूप से निरीक्षण किए जाने वाले उपकरण की कार्य स्थितियों, सफाई आवश्यकताओं और हीलियम मास स्पेक्ट्रोमेट्री लीक डिटेक्टरों (जैसे Wayeal SFJ-231D) की तकनीकी आवश्यकताओं पर निर्भर करता है।
पहचान विधि: वैक्यूम स्प्रे हीलियम विधि (उच्च-संवेदनशीलता मोड)
1: सिस्टम निकासी और बेसलाइन अंशांकन
आधार दबाव के लिए खाली करें: एटचिंग चैंबर: ≤0.1Pa (ड्राई पंप + आणविक पंप संयोजन); CVD/PVD चैंबर: ≤10⁻³ Pa (कोटिंग उपकरण के लिए उच्च आवश्यकताएं)।
लीक डिटेक्टर अंशांकन: SFJ-231D को कैलिब्रेट करने और इंस्ट्रूमेंट रिस्पॉन्स रैखिकता को सत्यापित करने के लिए एक मानक रिसाव संदर्भ (उदाहरण के लिए, 1×10⁻⁷ Pa·m³/s) का उपयोग करें।
चरण 2: हीलियम स्प्रे डिटेक्शन
पहचान क्षेत्र: ओ-रिंग खांचे, बोल्ट छेद, VCR/VCO धातु सील, वेल्ड जोड़, सिरेमिक इन्सुलेटर, तांबे के गैसकेट, बेल्लो कनेक्शन।
हीलियम स्प्रे ऑपरेशन:
पहचान बिंदु से 3-5 मिमी की दूरी पर एक हैंडहेल्ड हीलियम स्प्रे गन (0.1 मिमी फाइन-ट्यूनिंग नोजल के साथ) का उपयोग करें। 5 सेमी/सेकंड की गति से आगे बढ़ें, प्रति बिंदु 2-3 सेकंड तक रुकें (SFJ-231D प्रतिक्रिया समय <1 सेकंड)। वायु प्रवाह में गड़बड़ी से बचने के लिए हीलियम दबाव को 0.2-0.3MPa पर समायोजित करें।
चरण 3: रिसाव बिंदु निर्धारण और रिकॉर्डिंग
रिसाव दर: सेमीकंडक्टर उपकरण की स्वीकार्य रिसाव दर: आमतौर पर ≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s (SEMI मानकों के अनुसार)।
डेटा रिकॉर्डिंग: जब SFJ-231D रिसाव दर शिखर प्रदर्शित करता है, तो हाइलाइटर पेन से रिसाव बिंदु को चिह्नित करें।
रिसाव दर वक्र और स्थान डेटा सहेजें (USB के माध्यम से निर्यात करें)।
चरण 4: पुन: निरीक्षण और सत्यापन
पहचान किए गए लीक पर दोहराव की पुष्टि करने के लिए दूसरा हीलियम स्प्रे करें।
प्रमुख लीक की मरम्मत के बाद, आधार दबाव के लिए पुन: खाली करें और एक पूर्ण पुन: निरीक्षण करें।
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